它独特的优点包括：
真空设定精确、方便
处理周期短
结果重现好
自动程序控制与手动模式可选
采用触摸屏，显示与控制直观方便
支持带正/负电、亲水性/憎水性模式
结构紧凑，价格合理
该系统包括两个独立控制的气体进口，真空度通过电控精密比例阀设定，新颖的设计避免了针阀的手动设定。逐步放气程序保证TEM栅网在放气时不被损伤。
对于经常进行亲水性和憎水性表面处理的实验室，提供双辉光放电系统（图2）以避免在样品室内引起交叉污染。
工作距离与压力的优化曲线
技术参数：
等离子体电流 | 0-30 mA |
功率 | 30W |
辉光放电头极性 | 正极负极可续 |
样品台 | Ø75mm，可存放25 x 75mm玻片 |
样品台高度 | 1-25 mm可调 |
处理延迟时间 | 0-14411 sec. |
处理时间 | 0-900 sec. |
样品室大小 | Ø120 x 100mm 高 |
进气孔 | 2 个Ø6 mm 进气孔 |
高压真空联锁 | 硬件，软件双重联锁 |
真空控制 | Pirani 规控制, 真空范围：大气压~0.01 mbar |
工作真空范围 | 1.1 - 0.20 mbar |
系统显示 | 具有LED灯光的3" 触摸，并且有5个功能键 |
操作模式 | 自动编程 (可编4个用户程序) |
尺寸 | 305 长 x 292 宽 x 230mm 高 |
重量 | 6.26 kg |
GD4真空泵（可选） | 337 长 x 138 宽 x 244mm 高 |
重量 | 11 kg |
真空泵性能 | 2.5 m3/hr, 极限真空0.03 mbar |
电源要求 | 230V 50Hz, 10A |
