技术规格：
样品仓尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高强度不锈钢结构
样品台：可放置12 个标准 SEM 样品座，高度可在 60mm 内调节
溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，最大180A，配有过流保护
溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流40mA，程序化数字控制
溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
模拟计量：真空 Atm - 0.01mb 电流: 0 - 200A
厚度监测器： MTM-10 高精度厚度监测器(选配)
控制方式：自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气
电源：200-240 VAC, 50/60Hz
功率：1000VA (包括镀碳机和真空系统)
