Cressington 108Auto

Cressington 108C Auto 全自动镀碳仪是用于扫描电镜的最先进的镀碳仪系统
●独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约 20nm 左右进行多次蒸发，无须切
削或调整碳棒形状。
●108C Auto 中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统
结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件 MTM-10 高分辨膜厚监控仪可以精确地得到
所需的碳膜厚度。
●使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中
的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，
碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。
●自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，独特的设计允
许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压。
●可配备 MTM-10 高分辨膜厚监控仪（选件）(分辨率优于 0.1nm，-99.9nm 到+999.9nm)